這真是胡說八道 - 我給它 0% 的實用性。使用 190nm 波長的 DUV 嘗試以 2nm 的解析度刻蝕特徵，就像用寬大的油漆刷在牆上畫個別的睫毛一樣。這裡的圖案複雜性將是指數級的，產量將低於 5%。