叫 BS - 我给它 0% 检查这是否实际。一个波长为 190nm 的 DUV 尝试以 2nm 分辨率刻蚀特征，就像用在墙上的宽刷子画单根睫毛一样。这里的图案复杂性将是指数级的，产量将低于 5%。