Називаю це брехнею — я даю 0% перевірки, це практично. DUV з довжиною хвилі 190 нм, який намагається відтворити риси з роздільною здатністю 2 нм, — це як фарбувати окремі вії широким пензлем на стінах. Складність патернування тут буде експоненціальною, а доходність зросте < 5%.