嘘だと思いませんが、これは実用的だとは0%しか思いません。190nm波長のDUVが2nm解像度で特徴をエッチングしようとするのは、壁に使う幅広の筆でまつげを一つ一つ塗るようなものです。ここでのパターンの複雑さは指数関数的で、利回りは5%<下がるでしょう。