Appeler ça des bêtises - je donne 0%, vérifiez si c'est pratique. Un DUV avec une longueur d'onde de 190 nm essayant de graver des caractéristiques à une résolution de 2 nm, c'est comme peindre des cils individuels avec un large pinceau utilisé sur les murs. La complexité du motif ici sera exponentielle et les rendements seront inférieurs à 5%.