Mówiąc wprost - daję temu 0%, sprawdź, czy to jest praktyczne. DUV o długości fali 190 nm próbujący wytrawić detale o rozdzielczości 2 nm jest jak malowanie pojedynczych rzęs szerokim pędzlem używanym do malowania ścian. Złożoność wzorowania tutaj będzie wykładnicza, a wydajność spadnie poniżej 5%.