Das ist Quatsch - ich gebe ihm 0%, überprüfen Sie, ob das praktisch ist. Ein DUV mit einer Wellenlänge von 190 nm, der versucht, Merkmale mit einer Auflösung von 2 nm zu ätzen, ist wie das Malen einzelner Wimpern mit einem breiten Pinsel, der für Wände verwendet wird. Die Komplexität der Musterung hier wird exponentiell sein und die Ausbeuten werden < 5% betragen.