Llamando a una tontería: le doy un 0% de comprobación para que esto sea práctico. Un DUV con una longitud de onda de 190nm intentando grabar características a resolución de 2nm es como pintar pestañas individuales usando un pincel ancho que se usa en las paredes. La complejidad del patrón aquí será exponencial y los rendimientos irán < 5%.