$ASML EUVを超えて、AIチップの構築をより多く取り込み、高度なパッケージング(結合・接続チップレットや積層チップ)のための新ツールも含めています。 ASMLはまた、現在の「切手」制限を超える大型チップの印刷方法や、AIを活用して機械制御ソフトウェアや検査のスピードを上げる方法も模索しています。