Máy EUV là những công cụ phức tạp nhất mà con người chế tạo. Chuỗi cung ứng của chúng có hơn 10.000 nhà cung cấp riêng lẻ, và bất kỳ ai trong số họ không mở rộng đủ nhanh có thể làm tắc nghẽn toàn bộ ngành công nghiệp AI. Một công cụ EUV bắn laser vào một giọt thiếc nhỏ ba lần theo trình tự chính xác, làm cho nó phát ra ánh sáng EUV. Ánh sáng đó phản chiếu từ 18 gương đa lớp lên wafer. Trong khi đó, hai nền tảng bên trong máy - một cái giữ khuôn, một cái giữ chip - đang bay qua lại với tốc độ 9G theo hai hướng ngược nhau. Các lần đi qua liên tiếp phải hạ cánh lên nhau trong khoảng cách 3 nanomet. Nếu bất kỳ phần nào trong số này không chính xác, năng suất sẽ giảm xuống bằng không. Chỉ cần một thành phần. Các gương chủ yếu được cung cấp bởi Carl Zeiss, họ có thể có ít hơn một nghìn người làm việc trên chúng. Đổi lại, Carl Zeiss phụ thuộc vào các máy móc từ Thụy Sĩ để lắng đọng từng lớp, và sử dụng một quy trình phủ được phát triển chung với một công ty Đức khác. Không công ty nào trong số này đã thức tỉnh. Họ đang từ từ tăng sản xuất, nhưng không gần với mức cần thiết cho những gì các phòng thí nghiệm muốn vào cuối thập kỷ. @dylan522p dự đoán rằng sản xuất không thể mở rộng vượt quá khoảng 100 máy EUV mỗi năm vào năm 2030, bất kể có bao nhiêu tiền được đổ vào vấn đề này. Trong trung hạn, đây là nút thắt chính trong việc mở rộng.