$ASML privește dincolo de EUV pentru a surprinde mai mult din dezvoltarea cipurilor AI, inclusiv noi instrumente pentru ambalare avansată (chiplet-uri de legare/conectare și cipuri stivuite). ASML explorează, de asemenea, modalități de a imprima cipuri mai mari decât limita actuală de "timbru poștal" și folosește AI pentru a accelera software-ul de control al mașinilor și inspecție.