هذا هو شكل أكثر أجهزة تصنيع شرائح ASML تقدما تكلفة الآلة 380 مليون دولار، وتزن حتى 33 فيلا، واستغرق تركيب الآلة الأولى 250 مهندسا لمدة 6 أشهر