الرقائق الحديثة تزداد سرعة فقط لأننا نستطيع تعبئة مليارات المفاتيح الصغيرة على السيليكون على مقاييس صغيرة جدا بحيث لا يمكن لجهاز واحد إلا في العالم صنعها. $ASML أدوات EUV هي تلك الآلة.