CN117751427A براءات اختراع هواوي هو أحد الأساليب الممكنة المستخدمة في عملية N+3 للمعدن ذو النغمة الدنيا (M0)، حيث يستبدل أساسا EUV SALELE بمحرك DUV SALELEx2 الأرخص.