$ASML, EUV'nin ötesine geçip, gelişmiş paketleme için yeni araçlar (yapıştırma/birleştirme çipleri ve üst üste biriktirilmiş çipler) dahil olmak üzere yapay zeka çip yapımının daha fazlasını ele almaya çalışıyor. ASML ayrıca günümüzün "posta pulu" sınırının ötesine daha büyük çipleri basmanın yollarını araştırıyor ve makine kontrol yazılımı ile denetimi hızlandırmak için yapay zeka kullanıyor.