$ASML ser utover EUV for å fange mer av AI-brikkeutbyggingen, inkludert nye verktøy for avansert pakking (bonding/kobling av brikket og stablede brikker). ASML utforsker også måter å trykke større brikker enn dagens «frimerke»-grense og bruker AI for å fremskynde maskinkontrollprogramvare og inspeksjon.