$ASML melihat melampaui EUV untuk menangkap lebih banyak pembangunan chip AI, termasuk alat baru untuk pengemasan lanjutan (ikatan/penghubung chiplet dan chip bertumpuk). ASML juga mengeksplorasi cara untuk mencetak chip yang lebih besar dari batas "prangko" saat ini dan menggunakan AI untuk mempercepat perangkat lunak kontrol mesin dan inspeksi.