$ASML تنظر إلى ما هو أبعد من EUV لالتقاط المزيد من بناء شرائح الذكاء الاصطناعي، بما في ذلك أدوات جديدة للتغليف المتقدم (الربط والربط والرقائق المكدسة). كما تستكشف ASML طرقا لطباعة شرائح أكبر من حد "الطوابع البريدية" الحالية واستخدام الذكاء الاصطناعي لتسريع برمجيات التحكم في الآلات والفحص.