EUV stroje jsou nejsložitější nástroje, které lidé vyrábějí. Jejich dodavatelský řetězec má přes 10 000 jednotlivých dodavatelů a kdokoli z nich, který se nerozrůstá dostatečně rychle, může zablokovat celý AI průmysl. EUV nástroj vystřeluje lasery na malou cínovou kapku třikrát přesně za sebou, vystřeluje ji tak silně, že vyzařuje EUV světlo. To světlo se odráží od 18 vícevrstvých zrcadel na destičku. Mezitím dvě platformy uvnitř stroje – jedna drží šablonu, druhá čip – létají tam a zpět rychlostí 9G v opačných směrech. Následující průchody musí dopadnout na sebe do 3 nanometrů. Pokud je nějaká část nesprávná, výnos klesá na nulu. Vezměte si jen jednu složku. Zrcadla většinou dodává Carl Zeiss, na kterých pracuje pravděpodobně méně než tisíc lidí. Carl Zeiss se naopak spoléhá na stroje ze Švýcarska k nanášení každé vrstvy a používá proces povlaku vyvinutý společně s jinou německou firmou. Žádná z těchto společností se neprobudila. Postupně zvyšují produkci, ale zdaleka ne na úrovni potřebné pro to, co laboratoře chtějí do konce desetiletí. @dylan522p předpovídá, že výroba do roku 2030 nemůže překročit asi 100 EUV strojů ročně, bez ohledu na to, kolik peněz se do problému vloží. Ve střednědobém horizontu je to klíčové úzké hrdlo škálování.