$ASML katsoo EUV:n ulkopuolelle tallentaakseen enemmän tekoälypiirin rakentamista, mukaan lukien uudet työkalut edistyneisiin pakkauksiin (sirujen ja pinottujen sirujen liittäminen/liittäminen). ASML tutkii myös keinoja tulostaa suurempia siruja kuin nykyinen "postimerkkiraja", ja käyttää tekoälyä nopeuttaakseen koneen ohjausohjelmistoja ja tarkastusta.